二手 SEMITOOL 880F #84730 待售

SEMITOOL 880F是设计用于半导体制造的光刻设备。这是一个高端的湿式台式系统，能够处理标准和先进的光敏具有卓越的精度和均匀性。该装置采用高分辨率成像机，并配有可容纳高达880平方英寸晶圆表面的精密加工室。这种组合提供了实现高水平统一性以及更精确和可重复结果的能力。该工具还配备了最先进的数字控制资产，可以精确监测流程参数。这一控制模型包括一系列传感器，并配备了基于软件的集成反馈设备，后者对各种光刻胶应用过程提供精确可靠的控制。880F标配了一个四点对齐系统，提供精确的配准和解决方桉之间的光敏溶液的精确交换。该单元支持大多数标准的光刻胶溶液，为长期使用而设计。此外，这台机器还支持许多允许精确工艺优化的可选配件，例如温度、压力和涂层模块。SEMITOOL 880F还配备了100级洁净室兼容的安全壳和排气工具。此功能可确保空气中的微粒安全地从光致抗蚀剂工艺中除去。此外，与洁净室兼容的资产由于空气污染减少而增加了流程收益。为确保长期运行和最大限度地提高操作员的安全，880F还包括安全功能。几个集成的安全联锁作为标准配置在模型中。此外，还提供了一系列可调节的过程报警器，以保护光刻胶不受危险条件的影响。最后，设备还包括一个用户友好的处理器，简化配方设置和数据收集。该处理器可以方便地上载和下载配方以及从主机进行远程访问。还提供可选的图形用户界面,突出显示意外结果的潜在原因。总体而言，SEMITOOL 880F是一个强大的光刻系统，能够提供强大的过程结果。它提供了最高分辨率和最精确的结果，所有的安全特性都集成到了单元中。此外,此机器还包括几个可选配件和一系列用户友好的工具,以最大限度地提高生产效率。