二手 SEMITOOL 880S #293683353 待售

SEMITOOL 880S是一种可编程光刻设备，采用最新的电子和气冷加热元件和软件设计。其优点包括在其工作室中具有出色的热均匀性，以及对温度、流速和抗蚀剂纺丝速度等定时参数的精确控制。在其核心，SEMITOOL 880 S由两个截然不同的组成部分组成：一个光阻传递系统（PDS）和一个气冷加热反应堆（GHR）。PDS利用真空泵将抗蚀剂向下拉到不锈钢圆盘上,该圆盘以受控速率均匀分布在圆盘上。这确保了光刻胶层的最高质量覆盖范围和均匀性。然后使用GHR加热纺纱抗蚀剂，使温度和停留时间等热参数得到精确控制。880-S提供多种多样的加工应用，可用于低温和低粘度加工，如光刻和化学蚀刻，以及高温和粘度类型的加工，如PECVD、PVD和HD工艺。该装置的高效传热能力和高达1800°C的大温度范围允许各种生产级加工要求。此外，智能过程控制机（IPCS）允许对生产过程的每个阶段进行精确和可靠的控制。IPCS有助于优化吞吐量,并支持针对特殊配方定制配置文件创建。此外,用户还可以通过基于Windows的GUI访问参数、配方和流程数据等功能,以及在软件中创建特定于语言的流程指令。由于其先进的特性和多用途的设计,880S是各种生产操作的宝贵解决方桉,可用于创建精确可靠的光刻胶元件。