二手 SEMITOOL 880S #38555 待售

SEMITOOL 880S是一种光刻薄膜沉积系统，设计用于半导体晶圆加工和无掩模光刻。它结合了高效的抗蚀器和掩模对准器、高性能薄膜蒸发源、石英晶体微平衡（QCM）和集成气体管理，成为一个易于使用、紧凑的平台。SEMITOOL 880 S是880系列中的顶级车型，完美用于半导体和光电行业。880-S可以在平坦和复杂的表面上精确地分配、对齐和应用光刻胶。高效、强健的分配技术即使在高速和极精确的情况下也能实现可靠的分配模式。880 S能够轻松处理难以到达基板区域的问题。两级掩模对齐器可确保抗蚀剂阵列与基板表面的精确对齐。薄膜沉积是由先进的蒸发源实现的，由压力、温度、沉积速率和气体纯度等全局可编程参数控制。该光源热质量低，能够有效地输送具有均匀性、均匀厚度和改进膜性能的薄膜。此外，一个集成的石英晶体微平衡（QCM）提供了沉积速率的实时控制。SEMITOOL 880-S集成了先进的气体管理系统，使预先设定的气体和氧溷合物能够快速循环，从而优化了制造过程。该装置运行安静，减少污染，提高工艺稳定性。880S也是高度可配置的,可以安装到现有的处理工具上进行集成处理。总体而言，SEMITOOL 880S是一种非常高效、可靠且具有成本效益的光致抗蚀剂和薄膜沉积系统。它非常适合用于半导体、光电和研究行业。