二手 SEMITOOL 880S #9163494 待售

SEMITOOL 880S是一种光刻设备，旨在为各种应用提供可靠可靠的光刻处理。该系统能够在基板和/或器件上进行单面和双面薄膜沉积。该单元包括两个截然不同的部分-预烤和曝光。机器的预烤部分由一个SEMITOOL 880 S热板单元组成，它为晶片在应用光刻胶之前的预烤提供了一系列温度设置。此外,该工具还设计了多种风扇设置,使用户能够调整预烤室中的对流力,以获得均匀的晶圆温度曲线。真空冷却风扇进一步支持了预烘烤过程，有助于减少晶圆上的边缘效应。曝光部分由一个880-S曝光单元组成，该单元装有150W DUV（深紫外线）灯。该资产用于曝光晶片上的光刻胶层。可以在单面和双面模式下配置此进程。对于单面曝光,模型能够处理直径不超过8英寸、厚度不超过20毫米的基板。对于双面加工，设备能够加工直径不超过4英寸、厚度不超过10毫米的晶片。系统的整体性能由各种已整合到单元设计中的安全系统进一步提升。其中包括介电和金属掩码的自动关机功能,以及故障安全互锁装置。这确保了880 S光刻机在安全参数内运行，避免了设备损坏和对用户的潜在伤害。总之，880S是一种先进的光刻工具，旨在为单面和双面工艺提供精确、高质量的结果。此资产具有广泛的功能和安全系统,是任何光刻应用的可靠且高效的选择。