二手 SEMITOOL 880S #9170474 待售

SEMITOOL 880S是一种全自动光刻设备,专为湿工艺应用而设计.该系统设计用于涂层、烘烤和开发等多种光刻胶操作。它由两个独立的工艺模块组成：一个湿工艺模块和一个自旋冲洗干燥模块。湿法工艺模块配有自动化学输送装置、加热再循环机、手动纺纱机以及自旋冲洗和冲洗后的溶液。SRD模块允许旋转、冲洗、干燥,以及零件的溶剂处理选项。湿法工艺模块提供精确的化学品输送和完整的工艺安全.它的自动化化学品输送工具有助于对多达四种化学品进行精确计量，以加强过程控制。加热的再循环资产可以加快化学品的周转。手动旋转器可手动旋转,提供方便的零件放置。自旋冲洗和冲洗后解决方桉确保适当的清洁和工艺后保护。SRD模块配备了振荡旋转器、可调节喷嘴，用于精确清洁，以及用于干燥的大容量排水托盘。自旋干燥功能可确保彻底清洁并缩短加工时间。该模块还具有溶剂处理选项，用于处理对水分敏感的部件。SEMITOOL 880 S是一种高效可靠的光刻工艺模型.它用户友好,具有简单的启动和关闭过程。用户友好的HMI界面提供流程配方管理,并支持报警记录和故障排除功能。安全特点包括密封光敏容器、设备报警器和停机、防爆施工等。这个系统是一个伟大的选择，任何人寻找一个高效的光刻单元。