二手 SEMITOOL 880S #9170477 待售

SEMITOOL 880S是设计用于制造半导体器件的光刻设备。它用于在基板上沉积一层均匀的光致抗蚀剂，如硅片，然后将其暴露在紫外线下。然后将光致抗蚀剂层在溶剂中冲走，留下蚀刻的图样，该图样将用作掩模，以便在蚀刻或沉积过程中对底层的某些区域进行不同处理。SEMITOOL 880 S具有自动、计算机控制的光刻胶应用和制图过程,以及一些有助于确保工人安全的安全功能,如减压阀和其他保护措施。该系统还包括一个可测量抗蚀层厚度和均匀性的抗蚀剂监测器，以及一个用于在沉积和制图之前预热基板的热板。880-S具有易于安装基板的快速释放加载卡盘,以及晶圆担架,可通过施加均匀压力（不论基板尺寸如何,确保整个基板上均匀的抗蚀层厚度。这使得它非常适合用于高精度设备的制造。光致抗蚀剂的应用和制图是由一个适合各种光致抗蚀剂材料的综合脉冲激光束单元实现的。机器可以通过用户界面进行控制，改变抵抗层的厚度，并可以调整UV激光脉冲，以暴露基板中某些需要选择性处理的区域。880S还包括一些用于漂洗和旋转干燥操作的辅助清洁功能，以帮助清洁光刻胶工艺前后的基板。这有助于确保生产的半导体器件没有灰尘、污染和其他缺陷。综上所述，SEMITOOL 880-S是为生产高精度半导体器件而设计的一种高度可靠的光阻工具。它具有自动化、计算机控制的过程、集成激光系统和辅助清洁功能。880 S使光刻胶工艺更容易、效率更高，同时确保工人安全和生产干净、无缺陷的设备。