二手 SEMITOOL 880S #9774 待售

SEMITOOL 880S Photoresist Equipment提供业界最高的精确度和精确度,专为在图样和平面条件下涂覆、曝光和去除光致抗蚀剂而设计。它是一个完全自动化的双列系统，能够支持多达八个卡带负载。SEMITOOL 880 S提供化学储罐和晶圆重铺系统，提高了工艺的重复性和单元的可靠性。880-S光刻机由高温高压热涂层站、耐火贮器和环境控制工作站组成。热涂层站采用独特的气体溷合技术，在单层或多层材料的大面积上均匀地应用光刻胶。抗蚀剂贮器能够精确地放置和保留光刻胶，并提供高精度的自动化测量，以便在晶片上精确地使用光刻胶。环境室为过程增加了均匀性和稳定性，并配备了一个强大的空调工具，用于完全的环境控制。880 S还包括最先进的成像软件,可快速准确地曝光光刻胶。该软件可使掩模与目标保持一致,并对曝光过程进行优化控制,包括选择曝光条件和参数。该资产还具有坚固可靠的后烘烤、试纸和显影剂模块，可提供准确、一致的光敏处理。880S的这些特点加在一起提供了卓越的准确性和可重复性，同时也减少了浪费和循环时间。该模型非常适合用于研发和大批量生产设施中的光刻应用。它可以在宽广的温度范围内处理高化学电阻率的大规模抗蚀剂，确保优异的工艺效果。