二手 SEMITOOL 906-00119 #9160086 待售

SEMITOOL 906-00119是一种设计用于处理光掩模和其他光刻材料的光刻系统。它是一种全自动设备，利用各种光光传输、化学加工以及相关的前后处理功能，提供高质量的光掩模和工件。906-00119的核心是使用自动线性扫描仪进行光掩模或晶圆制造。扫描仪能够沿线性级移动光掩模或工件，并将其暴露在高强度的紫外线光源下。此过程用于曝光光掩模或晶片上的光刻胶层。然后将暴露的光致抗蚀剂在湿化学过程中发展成所需的光掩模或晶片图样。除了线性级之外，SEMITOOL 906-00119光抗蚀剂系统还包括一个预处理室，用于在曝光前需要制备晶片的情况下进行显影和回流。预处理室还采用了针对精确压力水平编程的高压喷气脉冲和0.2微米脉冲对晶片表面光刻剂进行有效蚀刻。曝光、开发、蚀刻过程完成后，在906-00119单元进行后期处理。这包括清洁、烘烤和固化光掩模或晶片、除尘和涂上保护性涂层。这些后处理步骤确保暴露的光致抗蚀剂层留有少量残留物。总之，SEMITOOL 906-00119是一种高度先进和独特的光刻胶加工机，能够为广泛的应用创造高质量的光掩模和工件。其自动化的线性扫描仪、预处理室和后处理功能为光掩模和其他光刻材料的处理提供了高效可靠的解决方桉。