二手 SEMITOOL 906-00329 #9160090 待售

'SEMITOOL 906-00329'是一种用于集成电路制造的光刻设备。它是一种光致抗蚀剂系统，能够在基板上形成精密图样，而不会影响其整体的电气和机械性能。光致抗蚀剂系统用于在硅晶片上创建电气元件。906-00329允许用户以高质量和高分辨率在硅片上创建所需的结构。它可以处理高达15 µm的高分辨率。它的操作范围也很广，介于-10 C和45 C之间。此外，它还能够处理直径从200 mm到300 mm'的基板，使其适合较大的基板。SEMITOOL 906-00329易于安装维护，适合用户和行业。它有一个内置的晶圆载荷微米导轨，以协助载荷和卸载基板。它还具有可调的卡盘和全方位的前后运动。此外，该装置还配备了自动处理气体切换能力，以提高灵活性。906-00329将紫外线和电子束光刻（EBL）结合用于其光刻机。它采用多通道曝光和开发过程,以优化性能和可实现的详细解决方桉。此外，该工具还具有内置晶圆温度控制器，有助于保持晶圆表面上的均匀和受控温度。总体而言，SEMITOOL 906-00329是在基板上形成精密图样的高效可靠的光刻胶资产。操作范围广，可处理高达15 µm的高分辨率。它还具有自动处理气体开关、均匀散热温度控制器和晶片载荷微米导轨等先进功能，两者相结合，确保运行平稳，效果可靠。