二手 SEMITOOL 9708 #293601757 待售

SEMITOOL 9708光刻设备是一种可靠且先进的系统,旨在提供半导体器件生产方面的卓越性能。它利用光刻工艺的最新技术进步，使图样能够转移到晶圆上。9708利用集成组件简化了抗拒应用过程，减少了每个周期的时间，确保了卓越的可重复性。该单元是一个模块化单元，由两个截然不同的组件组成，即preclean模块和resister应用程序模块。预清洁模块用于在应用前对晶片表面进行调节。该模块使用空气和氮气进行脱气和清洁晶圆表面。抗蚀剂模块然后从加压室中精确地应用光致抗蚀剂。该单元还包括一个可以在晶片上施加精确且均匀的抗蚀层的自旋轨迹驱动机。此单元的高级光学设计确保了设备阵列的最高分辨率。它使用多个镜头和先进的光学器件来捕捉设计的图像，并针对任何不规则性进行调整。它还包括一个独特的直接照明功能，提供统一和精确的曝光。自动分配控制功能可确保精确的抗拒测量,防止浪费和错误。该装置还包括一个先进的基板温度控制器，可确保在抗蚀应用过程中保持最佳晶圆温度。另外，该单元还可以作为组合过程的一部分，旋转多层光刻胶以实现复杂的器件阵列。SEMITOOL 9708光阻工具是生产高质量半导体器件的有效可靠工具。它的高级功能使用户能够快速准确地将设备的精确设计传递到晶圆上。此单元使用户能够始终如一地实现高分辨率图像和精确的设备阵列。