二手 SEMITOOL ACMS-RTA #9267100 待售

SEMITOOL ACMS-RTA是一种光阻设备，旨在提高先进半导体器件的生产性能。它具有配置返工站（CRS）和电阻热分析（RTA）单元。利用CRS,系统可以通过创建等方式准确、快速地调整模式大小等参数。该单元还提供了创建细线图桉的绝佳手段。ACMS-RTA的RTA单元使用无窗短波红外（SWIR）发射器加热烘烤、显影、软化和固化等光刻过程。这允许应用薄而均匀的抗蚀层,从而减少制造过程中的关键步骤。它还消除了对扩散炉的需要，该炉常用于光致抗蚀剂工艺。SEMITOOL ACMS-RTA提供了对温度、加热速率和光致抗蚀剂浓度的出色控制。这样可以确保它符合给定应用程序的精确规范。此外,ACMS-RTA还具有一个直观的用户界面,该界面具有可针对特定应用程序定制的自动操作配置文件。它还提供过程控制评级（PCR）以确保可重复和可预测的结果。SEMITOOL ACMS-RTA还包括实时报警和与产量分析软件接口等高级功能。这使计算机能够检测和警告用户进程性能的变化,从而能够快速响应任何异常。该工具还提供详细的记录和结果报告，这对于跟踪和优化流程非常有用。ACMS-RTA是一种可靠、高效的光阻资产，非常适合生产先进的半导体器件。它提供了对温度和光刻胶浓度等参数的出色控制,以及自动操作配置文件,以获得快速准确的结果。此外,它还提供高级功能,如警报和日志记录功能,以改进产量分析。这确保了SEMITOOL ACMS-RTA是生产优质光刻胶层的理想选择。