二手 SEMITOOL Alpha Raider #9160953 待售
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ID: 9160953
Wet processing system, 8"
Model: CP04MNSPD0801
Porous silicon
Process chambers:
Spray
Vapor
Immersion
Electroplating applications
Integrated into single cluster tool
Manuals and schematics
2009 vintage.
SEMITOOL Alpha Raider是为满足半导体工业的严格要求而设计的光阻处理设备。它是一个先进的系统，旨在改进与新底物、清洁化学和抗蚀剂的兼容性。该装置以专有的掺杂技术为基础，能够与多种光抗蚀剂一起工作。Alpha Raider采用了雄心勃勃的多步骤设计，其中包括可以调整到特定应用的各种参数，如薄膜厚度、均匀性、表面质量和抗蚀剂分布。它具有一个用于抗蚀剂应用的旋转涂层机，它与高科技的侧面扫描仪相结合，使抗蚀剂能够在整个晶片表面实现均匀、均匀的涂层。通过快速输送热的惰性气体,可以快速实现基板加热.可以调整温度以符合应用程序要求。SEMITOOL Alpha Raider还配备了独一无二的双喷雾喷嘴进行抗蚀处理，能够在晶圆表面快速产生均匀曝光。AlphaRaider还具有先进的冲洗周期,可确保清除任何残留的抗蚀剂。该工具还具有高速电子束和紫外线激光器的独特组合，专门为原位图样设计。这允许单个基板的快速二极管模式。最后,SEMITOOL Alpha Raider具有精密的O2-plasma灰化资产,可用于精确的模式定义,从而实现更好的设备间重复性和更高的产量。总之，AlphaRaider是一种先进的光刻胶模型，它对各种参数提供了极大的控制，允许精确的阵列和设备可重复性。其先进的喷嘴设计、精确的温度控制和高速处理，允许均匀性和提高产量，使其成为半导体生产的理想选择。
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