二手 SEMITOOL Automotia LC-4+ #293642838 待售

SEMITOOL Automotia LC-4+是专门为半导体制造而设计的高精度光阻系统。它是均匀自旋涂层的可靠平台，是半导体制造中的常用工艺。它也是精细复杂的光刻的绝佳选择。LC-4+能够以先进的精度控制旋转速度、扭矩、时间和距离设置，使操作员能够以现代半导体生产所需的高精度执行他们的任务。该系统具有高分辨率和多功能性的精密打印头专利系列。它还为微调旋转涂层工艺提供了三种速度，并为特别对温度敏感的基板提供了低温烘烤选项。Automotia LC-4+还允许直接连接到自动测试设备（ATE），该设备对系统参数提供更高级别的控制，以确保精密的光阻过程的准确性和可重复性。此外，LC-4+还支持多项高级安全功能，如板载警告系统和自我诊断功能。这些功能有助于减少在生产运行过程中出错的机会,并确保结果尽可能接近规格。SEMITOOL Automotia LC-4+是可用于现代半导体制造的最可靠、最先进的光阻系统之一。具有高精度的旋转涂层、ATE连接和安全特性，是要求高精度的生产工艺的理想选择。它是高效环境的绝佳选择,在这种环境中,过程必须得到控制和可重复,甚至可以将湿化学基准工艺自动化到生产水平。