二手 SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265366 待售

SEMITOOL/CALOGIC ST-870是一种顶级品质、计算机控制的光阻设备，设计用于半导体工业中硅片的加工。它在准确性、可重复性和吞吐量方面提供卓越的性能。该系统设计用于处理大型集成电路（LSI）和内存芯片,其线路尺寸可达600um（微米）。CALOGIC ST-870具有用于晶圆处理的全自动平台,具有一系列运动,包括几百毫米的X-Y平移,并围绕多个轴旋转。它还包括专门的机械臂和夹具，使光致抗蚀剂在晶圆上的操作和载荷平稳。负载和过程周期完全自动化,完全可定制,以满足客户的特定需求。此外,还可以使用固定源或移动源设置设备。该机器包括一个先进的光刻胶分配单元，确保精确和可重复的流量。这是由先进的控制器辅助的，该控制器具有高度精确的线性步进电机，可确保晶圆在生产过程中均匀分散的薄膜涂层。控制器还允许软化化学品的应用，以及用于后处理的冲洗循环。SEMITOOL ST-870配备了先进的、精密制造的双喷嘴工具，可同时在晶圆两侧应用光刻胶。这一资产还能够应用预处理化学品来处理水分和湿度的浓度。此外，该模型还采用先进的脉冲调制机制来控制滚头的温度及其相关电路，从而确保光刻涂层的适当图桉。设备还设有计算机化的PRI系统，允许操作员对整个过程进行编程和控制。该单元完全可编程，可用于调用几个选项和功能，如变速、整体晶圆电阻和可变喷嘴尺寸。此外，这台机器还能够处理各种类型的玻璃和陶瓷基板的图样。ST-870专为高性能应用而设计,例如串联制造、晶圆制造、生产测试和测量以及小型芯片的大规模加工。它是一种全自动工具,可确保可重复的准确性和长期性能。