二手 SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265369 待售

SEMITOOL/CALOGIC ST-870是为硅片的高级处理而设计的顶级光刻设备。它使用高功率的紫外线步进器将图样暴露在晶圆上，然后可以使用专门的液体和工艺将其转移到表面。CALOGIC ST-870能够产生非常精确的图像,使其能够在复杂复杂的设备和电路的开发中发挥至关重要的作用。SEMITOOL ST-870的系统设计以5轴扫描表为基础,该扫描表能够同时对多达300个晶圆进行高速和低速扫描。它还配备了一系列先进的光束对准监视器，这有助于确保步进器在每次曝光前正确定位。这有助于确保即使是最复杂的图像的最高精度。ST-870利用先进的扫描算法来提高图样打印的保真度,从而提高特征详细程度和覆盖范围的均匀性。这项技术还有助于最大限度地减少暴露整个晶片所需的时间，提高生产率。为了达到最高清洁水平，SEMITOOL/CALOGIC ST-870具有一系列旨在限制颗粒物污染的功能。它具有有效控制湿度水平的行之有效的能力，同时还提供出色的溶剂密封和现场化学回收功能。它的自动清洗过程也非常有能力，进一步帮助保持单元运行在峰值性能。除了成像功能外，CALOGIC ST-870还具有一整套计量和质量保证功能。其中包括自动缺陷检查和审查,以及快速准确地生成测试结构以加快产量评估和故障排除的能力。综上所述，SEMITOOL ST-870是为高精度器件制造而设计的先进光刻机。它结合了一系列先进的光学和扫描算法以及一系列清洁室和计量功能，使成像过程比以往任何时候都更快、更干净、更准确。