二手 SEMITOOL CDU-C2-01 #9093501 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9093501
优质的: 1998
Chemical delivery unit
For spray acid tools (SAT Series)
Spray solvent tools (SST Series)
(4) Chemical tanks
(4) Separate chemicals
DI Water return
Supply connections
CDA (clean dry air)
Supply facility requirement: 90 PSI Max
N2 Supply facility requirement: 80 PSI Max
(6) Trebor magnum 610 diaphragm pumps installed:
Software version: CDU-402, 1.03
Full load current: 3A
Largest motor or load: 3 A
Short circuit interrupt: 3500 A
120 VAC, Single phase, 3-wire, 50 / 60 Hz
1998 vintage.
SEMITOOL CDU-C2-01是一种光敏设备，旨在为半导体制造设施配备高效可靠的光敏处理。它利用先进的机械和控制工程的最先进的组合，优越的光刻加工。该系统集成了一个高性能、大容量、真空式负载锁定室和先进的扫描机器人单元，提供从晶片装卸到过程模块内移动的全机动性。自动化与腔室清洗能力相结合，每小时的总吞吐量到净吞吐量可达20个晶圆。该机具有21英寸晶圆处理能力和自旋冲洗干燥工艺等功能，可实现快速可靠的加工。另一个特点是通过反向自旋-自动中心循环优化了晶片的润湿，这是第一次实现光敏加工。此外,还集成了高级自我诊断工具,以使操作保持峰值性能。此外，CDU-C2-01的自给自足性质也使得资产足迹很小。与其他生产系统相比,这减少了模型占用的空间。在安全性和可靠性方面，该设备为多个并行运行的机器人提供了安全可靠的环境。这样可以降低风险并确保系统稳定性。所有这些功能结合在一起,使SEMITOOL CDU-C2-01无与伦比的性能。它是可靠、经济高效的光刻胶加工的理想之选，可轻松融入任何现有生产线。
还没有评论