二手 SEMITOOL Cintillio #293653477 待售
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ID: 293653477
晶圆大小: 8"
优质的: 2012
Spray Solvent Tool (SST), 8"
Process: EKC / IPA
Double chamber, 8"
Bulkfill
Clampshell rotor
(3) Heated tanks
(2) Unheated tanks
(2) Tanks for EKC 265
(4) Tanks for IPA
CDU Cabinet
(280) Chambers / (50) Wafers
(2) Fume sensors
(5) LEVITRONIX Pumps BSM 4.2 / LC325
Fill vessel / metering pump
SECS GEM
Pump controller is missing
Power supply: 400 V+N+PE, 35 A
2012 vintage.
SEMITOOL Cintillio是设计用于半导体收费、封装和组装工艺的先进光刻设备。Cintillio是一个模块化的自动化系统,包括调制的自上而下的旋转涂层、自下而上的喷雾器和激光驱动的基板处理程序/聚焦单元。其高效的光阻涂层技术有助于产生精确的S-I-O互连、器件和钝化结构。SEMITOOL Cintillio旋转涂料从获得专利的篮子平台开始,该平台允许通过旋转或摇摆快速优化过程。它有一个专门设计的应用室，将光刻胶均匀地分布在整个基板表面上。其次是自上而下的自旋涂层，它创造了一个具有高膜完整性、工艺可重复性和全面积覆盖的均匀抗蚀层。Cintillio还加入了自下而上的喷雾器，用于在底物的反面涂抹光刻胶。这样可以在应用过程中控制和重复基板背面的抗性厚度和均匀性。激光驱动的基板处理器/聚焦机设计为在光刻涂层过程之后提供精确的光学聚焦。该工具将基板聚焦在具有可重复精度的注册标记上，从而允许可重复的覆盖精度。该模块具有内置的多激光资产,可在一次运行中处理多个设备。该模型能够在一系列晶圆尺寸和配置中进行光刻处理，同时提供可追踪的基板跟踪、过程控制和过程审查。SEMITOOL Cintillio设备灵活、高效,可实现快速、轻松的工艺优化。通过使用该系统，用户可以在实验室和生产中精确、重现地生产半导体器件。
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