二手 SEMITOOL CP04MNSPD0801 #9158970 待售
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SEMITOOL CP04MNSPD0801是一种光阻Coater/Developer设备,专为半导体工业中的掩模制造过程而设计。该系统包括一个能够处理200毫米晶片的单晶片腔、用于精确音量控制的多个喷嘴、集成的微处理器控制以及直观的用户界面。SEMITOOL CP 04 MNSPD 0801使用多达6个工艺模块来管理光刻胶的开发、粘合、剥离和干燥过程。其晶片处理机构坚固可靠,使操作员能够快速准确地调节晶片的装卸。CP04MNSPD0801室的真空压力低至1托,温度高达65摄氏度。整合式真空装置维持最佳抗性涂层或显影所需的压力。集成微处理器用于控制工艺模块,精确调整各晶片的沉积和发展参数。对腔室的压力、温度和机械部件进行监控,以确保它们在每个晶片的整个处理过程中保持在指定的范围内。CP 04 MNSPD 0801的喷嘴设计用于光刻胶涂层和开发过程中的精确体积控制。通过仔细调整喷嘴,可以在晶片表面上产生厚度一致、均匀的光刻膜。集成的用户界面使操作员能够轻松快速地选择所需的参数,用于涂层和开发给定的晶圆。这样可以确保每个晶片的涂层和开发具有相同的均匀性和质量。SEMITOOL CP04MNSPD0801是一种先进的光阻Coater/Developer机器,设计用于在多个晶片上快速、精确的抗蚀涂层和开发。其坚固可靠的腔室设计,可实现工艺模块的均匀沉积和精确控制。其集成的微处理器和用户界面确保操作员能够可靠地调整所需的晶圆工艺参数。SEMITOOL CP 04 MNSPD 0801具有保持最佳真空压力和温度的能力,能够为大体积光敏涂层的开发提供可靠、可重复的晶片处理。
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