二手 SEMITOOL CY-20 #9141284 待售

SEMITOOL CY-20光刻设备是一种通用的自动化工具，设计用于半导体、光电和医疗设备制造过程。CY-20系统采用开放式平台,非常适合许多湿式台式应用,如光刻、蒸发涂层和剥离,以及光致抗蚀剂的开发。它还具有一系列可帮助降低与半导体加工相关的成本和劳动强度的选项。该单元由四个主要组件组成：光刻机控制器、光刻处理器、沉积轨道和各种处理室。光敏工具控制器是资产的"大脑"，负责管理整个光敏加工过程。它处理配方、监视生产状态、计划和执行诊断测试,以确保准确的结果。光刻胶处理器负责将光刻胶化学物质从真空瓶转移至装置或模组喷嘴，并由单独的外壳控制。沉积轨道是一个宽平的输送机模型，它将基板输送到所需的位置进行处理，它还容纳位于腔室中的维修部件。最后，各种加工室负责进行实际的光刻胶加工，如预烘烤、喷涂/分配、蚀刻和后烘烤。这些腔室中的每一个都需要喷嘴和喷嘴，这些喷嘴和喷嘴可以很容易地调整以符合每个工艺的规格。SEMITOOL CY-20设备能够生产各种具有最高精度的抗蚀剂结构。它可以很容易地与其他工具和工艺集成在同一个洁净室中，如介电沉积、反应室利用、底物沉积。此外，该系统还允许简单高效地去除基板或阀门部件上的残余抗蚀剂，以确保一个优秀的成品。总体而言,CY-20光敏装置使用户能够产生可靠、可重复的结果并降低劳动强度。该机由高度自动化的平台组成，具有多种选择，使其适合不同的湿式台阶应用。它与其他工具的轻松集成和集成过程控制也导致更快的周期时间和更高的收益率。SEMITOOL CY-20工具具有许多特点和功能，是任何半导体和光电制造商的绝佳选择。