二手 SEMITOOL ECP LT210 Cu #9095392 待售

SEMITOOL ECP LT210 CU是为半导体工业的大规模生产而设计的光刻设备。它是加工各种光敏材料的综合环境。它为光刻工艺提供了一个坚固、自动化的平台，并允许精确的薄膜厚度和轮廓控制。该系统由一个硬件单元、一个锁定负载端口和进程室以及相关的控制软件组成。该工艺室包含一个定制设计的加热/冷却模块，用于快速预烤和曝光后烘烤周期。该单元还包括一个位于中心位置的喷枪，精确控制光敏材料的曝光。喷枪使光致抗蚀剂雾化，并以均匀、一致的沉积物将光致抗蚀剂分配到晶片表面。此外,ECP LT210 CU还具有可编程旋转电动机和卡盘,可快速高效地加载和卸载基板,以及触摸屏控制面板,便于操作员控制和诊断。该机器还具有自动化的手动输入功能,可进行快速配方更改和预测性维护计划。总体而言，SEMITOOL ECP LT210 CU是一种可靠高效的光刻工具，非常适合半导体行业的大规模生产作业。它的集成环境提供了一个高度自动化的平台,可确保一致的薄膜厚度和轮廓控制,以及精确的曝光控制和快速的配方更改。该资产还允许快速、高效的底物装卸，便于操作和维护。