二手 SEMITOOL EQ23 #9287636 待售

SEMITOOL EQ23设备是设计用于制造半导体集成电路和其他微电子器件的光刻系统。它是一个基于轨道的自动化单元，具有一系列模块，旨在为光刻胶和其他半导体制造工艺提供高通量的解决方桉。EQ23台机器采用模块化结构设计，由两个独立的轨道组成。主轨道由四个工艺模块组成，包括一个用于光刻胶加工的湿模块、一个自旋漂洗干燥机模块、一个光刻胶条带模块和一个用于应用光刻胶的自旋涂层模块。第二个轨道包括三个附加模块：一个用于蚀刻的自旋蚀刻模块、一个用于蚀刻后清洁芯片的清洁模块和一个用于目视检查的检测模块。该工具使用户能够完全控制所有材料传输和工艺功能,以及板载工艺参数调整。湿式模组包括一组用于光敏化学物质的储层、一个用于光敏消减的涂抹器，以及一个介电加热的淋浴喷嘴，以确保抗蚀剂图样的均匀性。自旋冲洗烘干机模块用于将抗蚀剂从基板上旋转,然后使用带状模块自动剥离剩余的抗蚀剂。自旋涂层模块设计用于在基板上均匀沉积光刻胶，而自旋蚀刻模块用于蚀刻不需要的金属。清洁模块的设计是在金属蚀刻后彻底清洁基板，而检验模块则是用来目视检查加工模具的质量。该资产提供高效的生产与用户友好的操作和可靠的性能。模块化设计允许用户修改或添加模块，以满足个别生产过程的需求，而车载过程参数的调整提供了一定程度的灵活性来优化过程。SEMITOOL EQ23为寻求半导体元件精密生产自动化光刻胶模型的用户提供了必要的解决方桉。