二手 SEMITOOL Equinox E0212 #70448 待售

SEMITOOL Equinox E0212是一种光刻设备，用于生产集成电路（IC）。它是一个功能齐全的系统，可支撑高达1.2 µm的抗蚀性台阶和小至12 m的特性尺寸。该装置设计用于处理各种光致抗蚀剂化学物质，包括正光致抗蚀剂、负光致抗蚀剂、耐溶剂和深紫外线光致抗蚀剂。Equinox E0212配备了5轴涂层/显影头，可实现精确、均匀的抗涂层和开发。该机包括一个两区，夹套，不锈钢罐抵抗处理和一个批次级的工具，其余三个坦克。SEMITOOL Equinox E0212集成了先进的机器人技术，使其能够处理高达318 mm x 318 mm的大型基板。该资产采用机电晶片提升和自动调平技术，以确保基板载荷的均匀性，并提供小至12 m线宽的生产水平产量。除了其功能外,Equinox E0212还旨在提高生产吞吐量。它支持多种高速过程，如直列搅拌、机电腔盖和速度控制系统，以及清除控制模型，以尽量减少步进过程中的阻抗损失。该设备还包括用于校准和机器状态监控的智能诊断能力。为确保用户安全，SEMITOOL Equinox E0212配备了洁净室监控、激光断裂、有害物质管理系统等安全监控系统。该单元还包括紧急停止机，在危险情况或工具故障时启动。总体而言，Equinox E0212是一种功能齐全的光刻胶资产，旨在以精确和高效的方式处理各种光刻胶化学。其先进的特点，如5轴涂层/显影头和机电晶片提升，使其能够处理基板与壮举生产水平的产量。它的设计也考虑到安全，包括若干安全和监测系统。