二手 SEMITOOL Equinox #293590462 待售

SEMITOOL Equinox是一种用于制造高精度微电子元件的光刻加工设备。它采用先进的激光扫描系统，在每个产品的基础上制造光刻胶面膜。该单元允许沉积的光致抗蚀剂在硅、金属和其他半导体材料等基板上选择性图样化，从而能够产生0.5至25微米的细线几何形状。春分利用了专有的激光光刻技术。选择的激光波长和光刻胶类型可以调整，以最大程度地减少过程中的线宽变化，同时保证产品的一致性和准确性。基板上的图样是用直径为13.5nm的激光器完成的，产生了很好的光致抗蚀剂分辨率。激光扫描光学器件然后注册其位置并绘制图样。阵列可以使用此机器以X、Y或Z轴方向移动。SEMITOOL Equinox为用于制造高精度微电子元件的光刻工艺提供了一个经济高效的解决方桉。其可靠性和可重复性使其成为微电子工业中的宝贵工具。用户可以轻松地输入所需的参数，激光扫描仪将以最短的时间准确地渲染设计。它还采用了一种热控制技术，减少了光致抗蚀剂沉积的变化，从而使表面致密度很高。为了提高表面平面度，Equinox工具也可用于沉积后蚀刻。此过程通过提供轻快、均匀的抗蚀层和消除模式折迭来帮助创建平面化。最后,该资产配备了多种光刻胶轮廓监视器和控制选项,以确保在过程中和之后保持抗蚀剂的粘度,从而获得最佳的最终产品。总而言之，SEMITOOL Equinox是在微电子工业中打造光刻屏蔽和图桉的绝佳选择。其基于产品的掩蔽、变化的模型参数和高分辨率功能使其成为许多制造过程的通用工具。