二手 SEMITOOL Equinox #293646994 待售

SEMITOOL Equinox是一种光阻设备，用于多种应用，如自旋涂层、喷涂涂层、浸涂层和槽涂层技术。它旨在为用户提供光刻涂层工艺的精确控制，即使在加工复杂基板时也是如此。Equinox有几个关键特性可以将其与其他系统区分开。该系统的自动分配控制器可确保精确和可重复的光刻晶片负载。这减少了维护准确流程参数所需的时间和资源。SEMITOOL Equinox的另一个有用特性是其AutoClave技术，利用真空室和紫外线照射来干燥和固化光致抗蚀剂。这样就不需要额外的干燥工艺，提高了吞吐量和使用时间。该装置还采用了一种创新的槽式涂层头，其设计目的是在高达1000 °C （1832 °F）的温度下使光刻胶退火。除了这些功能外，Equinox机器还为用户提供了优化其处理参数的灵活性，以便为其特定应用获得最佳效果。诸如自旋速度、基板温度和曝光时间等变量都可以调整以获得所需的结果。该工具还附有多种配件，以增加其多功能性。例如，有一个自动晶片定心单元，以确保准确定位，以及用于喷涂应用的多个淋浴头组件。由于其触摸屏界面和自我诊断功能,该资产易于使用和维护。它还被设计为极其可靠，一次最多运行8小时，不会中断。这使得它特别适合于自动化生产运行。此外，SEMITOOL Equinox是一个紧凑的模型，适合任何实验室或公司的地板环境，因此可以很容易地集成到现有的流程中。最后,该设备提供全面的一年保修,并且价格有竞争力。