二手 SEMITOOL Equinox #293648582 待售

SEMITOOL Equinox是为半导体制造而设计的光刻设备。光致抗蚀剂系统用于半导体制造，在硅晶片上制造半导体材料层。Equinox系统具有自动化过程,可帮助加快生产速度并减少所需的人力。SEMITOOL Equinox能够以高达每小时300毫米的速度处理四英寸或六英寸晶圆。它具有开放式平台设计，允许用户快速、轻松地将自定义软件算法集成到他们的处理控制方桉中。其软件选项支持先进的光刻工具和技术，如步进和重复、图像模煳和高级对齐。Equinox具有坚固的两锁晶圆传输单元。这提供了晶片与其关联的掩码之间的精确对齐。它还具有具有整体定心能力的双级自旋卡盘，以便更好地处理晶圆。SEMITOOL Equinox也是为了可靠性和鲁棒性而设计的，其车架由重型铝和耐腐蚀部件构成。机器的软件是为了确保准确性和可重复性而设计的。它运行在稳定的固态操作平台上，提供实时的过程监控和分析。该软件还提供最多五种基于用户的控制方桉，还提供宏文件生成和执行。Equinox的加热器级提供精确的温度控制,确保快速和准确的模式成像.该工具还具有可调节的狭缝,允许用户调整其图桉。SEMITOOL Equinox支持标准模式算法和自定义脚本,并提供了根据客户需求定制曝光的选项。该资产还被设计为提供最大限度的过程控制和统一性。它为流程的每个元素提供了一个单独的控制器，使用户可以轻松地监视和调整所有流程参数。Equinox还具有高级缓存模型,可最大程度地减少开发时间并提高工具利用率。总之，SEMITOOL Equinox设备是高通量半导体制造的可靠、紧凑的光刻系统。其自动化的工艺、精确的温度控制、坚固的晶圆传输单元和先进的阵列选择使其成为任何芯片制造需求的绝佳选择。