二手 SEMITOOL Equinox #293659794 待售
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ID: 293659794
优质的: 2007
Electroplating system
Package: Plastic wrap
Dimensions: (L)1190 mm x (W) 775 mm x (H) 1235 mm
Dry film dimension:
Film width: 150~640 m/m
Membrane diameter: ≤ 4250 mm
Feeding section:
31.5 m/m, P= 76 m/m
Roller: Aluminium
Size (cm): 190 x 160 x 192
Temperature control: PID type S.S.R drive
Manual feeder
Temperature range: 120°C
Power supply: AC 220 V 1φ, 50/60 Hz, 3.5kVA
2007 vintage.
SEMITOOL Equinox是为先进光刻工艺而设计的光刻设备。Equinox专为微制造工艺而设计,是一个最先进的系统,可用于制造高度精确的半导体元件。SEMITOOL Equinox具有最新技术,包括用户友好的触摸屏界面和易于理解的菜单单元。这台机器能够进行快速、自动化的处理,在保持精确的光刻结果所需的超净环境的同时,允许更快的制造时间。Equinox还提供了一系列功能,包括基板预处理、双面涂层、粘合剂粘合、抗蚀剂和底部防反射涂层、旋转涂层加工、软烘烤、旋转显影、蚀刻、剥离和CMP(化学机械抛光)。光致抗蚀剂工具效率很高,需要极少的维护。其低成本的设备和高效的建筑结构确保制造成本保持在较低水平。此外,该资产旨在促进快速加工和实验室自动化,这对较小的生产批次特别有利。SEMITOOL Equinox光刻胶模型还支持包括金属、薄膜、厚膜、聚酰亚胺和有机基板在内的多种基板。此外,抗蚀剂和基材被存储在一个集成的存储设备,使它容易和方便地访问它们。除了基板、抵抗、清洁功能外,Equinox还设有实时自动对准摄像头,可根据晶圆形状或基板类型快速调整顶侧或底侧对准。这是通过顶置后表面光学照明相机和其先进的软件算法相结合而实现的。总体而言,SEMITOOL Equinox光刻系统是一个创新和先进的光刻单元,旨在支持半导体元件的微制造过程。凭借其专业的功能、易用性和成本效益,这台机器可以方便高精度元件和产品的生产。
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