二手 SEMITOOL Equinox #293797045 待售

SEMITOOL Equinox是一种光刻设备，旨在提高光刻工艺的生产率。它旨在简化加载/卸载过程,减少手动干预,并提供清洁室兼容性。它提供了一种小巧、经济高效的工具，非常适合用于先进的半导体和MEMS制造商。Equinox具有创新的双电平传输系统（DPTS）。此单元可同时装卸工件,从而减少周转时间并显着提高吞吐量。该机还具有全自动基板和适配器处理功能,从而消除了手动干预。该工具还与洁净室兼容，并具有最先进的设计元素，以减少颗粒污染。这些设计要素包括晶圆室之间的动态粒子隔离、密封晶圆转移输送机、气泡晶圆载体。此外,该工具还配备了一个集成的受控外壳模块（CEM）,该模块可创建一个可防止污染的封闭环境,并允许清洁室运行,而无需额外的空气过滤。SEMITOOL Equinox还拥有用户友好的液晶触摸屏界面。其直观的菜单结构可确保操作简单,并提供比标准控制台更大的灵活性。该工具配备了广泛的标准配方库，包括针对不同材料的优化工艺。Equinox提供了满足半导体和MEMS制造需求的理想解决方桉。它提供高生产率、出色的清洁室兼容性、用户友好的操作以及灵活的过程控制。因此，它是一个理想的工具，在先进的织物光刻工艺。