二手 SEMITOOL Equinox #9023046 待售

SEMITOOL Equinox是一种光刻设备，专为抗蚀剂材料和蚀刻工艺的精确应用而设计。它是一个成本效益高、高度稳健的系统，为支持半导体制造业的需求而开发。春分点单元可以处理广泛的过程，包括湿蚀刻、干蚀刻、溅射和化学机械抛光（CMP）。该机专为单晶片应用而设计，提供了较高的晶片处理精度。它还具有低基材消耗、低操作成本等特点。该工具配有板载控制器，支持高级诊断、配方和配方测试，以及自动过程性能监控。它还提供了高度的精确度,其选择性蚀刻功能确保在不影响精度的情况下实现所需的结果。该资产由四个独立的腔室组成，并提供了一个隔离的模型环境，以避免交叉污染和意外将颗粒引入工艺腔室。这样可以节省时间、能源并提高工艺产量。设备的晶片架允许方便的基板装载、卸载和晶片运输，其腔室设计方便晶片居中。它还具有现场级漂移监测系统，进一步提高了精度。SEMITOOL Equinox单元有两种操作模式：手动操作或自动操作。手动模式通常提供较低的吞吐量,但允许更好地控制流程参数。自动化模式提供了更高的吞吐量和更低的机器成本,但需要更高级别的过程控制和专业知识。除了出色的处理能力外，Equinox工具还配有多种配件和升级选项。这包括纺纱厂、晶圆辐照系统、增强型离子源模块、高级后端模块以及旨在提高工艺准确性的各种软件选项。总之，SEMITOOL Equinox资产是一种先进的光刻胶模型，旨在帮助制造商达到高性能水平，同时将成本和能耗保持在最低水平。它具有广泛的功能,确保用户能够找到满足其特定应用程序需求的最佳解决方桉。