二手 SEMITOOL Equinox #9023047 待售
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ID: 9023047
晶圆大小: 6"
Etcher, 6"
Manual copper electroless
Single cup system
(2) Chambers
(2) Tanks.
SEMITOOL Equinox是一种光阻剥离设备，设计用于先进的微加工工艺。它通过对光刻胶层施加强烈剂量的紫外线来运作，使其在某些区域破裂。通过控制光的剂量和改变频率，可以操纵暴露区域的形状来创建特定的模式。该系统设计用于处理高达150毫米的晶片尺寸，分辨率小至1 µm。该装置用于快速剥离各类用于微电子制造的光刻胶。这包括酸性和碱性光致抗蚀剂、深紫外光致抗蚀剂和其他特种光致抗蚀剂。该机还能够从记忆电路、逻辑器件和其他复杂结构等小特性中精细分辨率去除光刻胶。Equinox设计为fl exible and customizable,所以可以量身定制以满足各种基材的要求。它具有数字控制工具和用户友好的图形界面。这使得设置和调整参数变得容易，大大提高了过程的一致性。资产的高级工程还确保了尽可能短的过程时间,这有助于提高吞吐量。它还减少了光致抗蚀剂剥离过程中产生的废物量。该模型还在低温下运行，从而降低了损坏细腻零件的风险。SEMITOOL Equinox的设计考虑到安全性，有自动电源关闭和互锁到位，以防止意外曝光。此外，它还配备了带有二级和三级安全联锁的1级激光设备，以确保安全运行。Equinox具有卓越的性能、可靠性和安全特性,是广泛光刻剥离应用的完美工具。从内存电路，到逻辑设备，再到其他复杂的结构，SEMITOOL Equinox是实现专业成果的首选工具。
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