二手 SEMITOOL Equinox #9207969 待售

SEMITOOL Equinox是一种设计用于半导体晶圆加工的高精度光刻加工设备。它旨在提供可靠、精确的光刻胶沉积到晶片上，从而为高性能微电子器件生产亚微米级电路设计。Equinox系统设计用于高精度和可重复的光刻涂层。利用专利预处理技术，保证了光敏沉积的良好附着力和均匀性。该装置包括一个用于制备光刻胶表面的干化学喷雾器，一个用于沉积光刻胶的自旋涂层，以及一个专门的低温倒后烘烤，有助于将光刻胶层正确固定在晶片上。SEMITOOL Equinox机器还具有自动端点检测功能，在沉积厚度不同的多个光刻层时提供准确的结果。它具有包括氧氮、氮、无声氙气、高压干式排气等多种温度控制模式。这可以更精确地控制涂层工艺，这对于生产各种厚度的高质量光刻胶层至关重要。Equinox工具具有内置的安全协议,可提供一致和可靠的性能,并防止资产超载或损坏。它有一个复杂的致密升华模型，确保从一层到另一层均匀和可重复的沉积。它还有一个无污染的环境，它消除了静态和气溶胶污染的引入，使随后的设备层保持清洁，没有缺陷。SEMITOOL Equinox具有广泛的工艺能力，可以轻松处理SU-8、AZ、BISMOC、PMMA等各种光刻胶类型。它设计用于每小时处理多达25个晶片，为延长光刻沉积时间提供卓越的工艺控制和可靠性。它采用独特的多点旋转涂层方法，保证了统一、可重复的工艺性能。总体而言，Equinox是一种高精度的光敏处理设备，设计用于半导体晶圆处理，提供精确和可重复的光敏沉积。它具有一系列先进的特性和工艺能力，以确保高性能微电子器件的快速、高效、可靠的光刻涂层。