二手 SEMITOOL Equinox #9229811 待售

SEMITOOL Equinox是一款高性能、多室光刻设备，专为等离子体蚀刻、PVD、条带和清洁工艺而设计。其开发是为了满足尖端微电子产业的需求，并提供优越的薄膜加工能力，使制造商能够保持竞争力。Equinox是一个完全集成的系统,可实现超细特征制造,非常适合先进的光和MEMS设备制造技术。它设有三个独立的加工室，总容量为1 000升。腔室可以在0.25至50 torr的压力范围内运作，温度可达300 °C。每个腔室都可以安装各种组合的插槽和针脚光掩模、狭缝面罩和阴影处理板,从而为所有薄膜、蚀刻和带状工艺提供精确的图样。三个独立的工艺室与专门设计的SEMITOOL Equinox工艺控制单元*协同工作。这台智能机器可以单独监控每个腔室，并根据需要进行实时流程调整。此外，Equinox Process Control Tool可以执行资产诊断、晶圆跟踪、配方控制和统计过程控制，以确保最佳效率和性能。SEMITOOL Equinox配备了独特的多级端点检测模型，允许操作员在暴露于等离子体蚀刻、PVD和湿蚀刻操作过程中监控过程。利用多级端点检测设备,制造商能够准确监控蚀刻轮廓并确定何时达到预期的效果。Equinox提供卓越的光刻胶系统性能和无与伦比的质量控制。这个先进的单元简化了制造过程，使制造商能够以更高的精度和速度创建复杂的结构。SEMITOOL Equinox的占地面积小、设计灵活、过程控制能力全面，是精密高效光敏处理的理想选择。