二手 SEMITOOL Equinox #9243044 待售

SEMITOOL Equinox是为半导体工业高效处理和处理光刻胶而设计的光刻胶设备。它是一个完全集成的解决方桉,为配方开发和自动化提供了可靠的平台。该系统采用端到端光致抗蚀剂工艺，包括预处理、多个面包师模块、涂层、曝光、开发、烘焙和后期处理。该设备包括一个自动线路功能,使其能够无缝集成到工厂自动化控制环境中。它可以配置为接受来自前端处理设备的晶圆载波并将其输出到下一个过程步骤。该机设计为使用多种光刻胶操作，并成功处理多种涂层、曝光、显影和烘烤工艺。该工具配有先进的控制软件，便于精确控制腔室、模块、过程输入和输出。每个模块都可以通过专有控制软件独立控制。该软件允许开发和存储各种光刻胶应用程序的工艺配方。该资产包括易于使用的触摸屏控件和10.4英寸TFT液晶显示屏,可实时监控和调整流程。春分还配备了车载摄像头，用于目视检查验证。还配备了温度探头，用于精确的温度监测和控制。该车型配备了广泛的安全功能，包括加入了一个有专利的安全联锁设备，以防打开车门时系统意外运行。此外,它还具有断路器安全单元,在发生故障或故障时自动关闭机器电源。所有工具操作均由一台持续运行的主机计算机监控。总体而言，SEMITOOL Equinox是一种先进的光阻资产，设计用于高效可靠的操作。它提供了开发光刻胶配方和自动化的综合平台，以及用于精确过程监测和调整的高级控制软件。此外,它还配备了多种安全功能,以确保安全运行。