二手 SEMITOOL Equinox #9377488 待售

SEMITOOL Equinox是一款先进的光阻设备，旨在为半导体和其他纳米级器件的生产提供精度、重复性和质量。该系统由一系列步骤组成，这些步骤可在经过抛光至光滑表面处理的基板上形成光刻胶薄膜。该单元提供了一个环境腔室，以确保光致抗蚀剂在整个晶片上均匀应用。机器还包括一个集成的晶片扫描工具，测量晶片厚度，允许现场控制和监测光刻胶厚度，必要时自动调整光刻胶层厚度。然后用紫外线（UV）照射光刻胶层，其强度可以精确控制和监测。紫外线照射导致光致抗蚀剂在晶片上形成图样。然后进行曝光后烘烤步骤，将残留的溶剂煮出，并使光刻胶硬化，以进行其他过程，如蚀刻、沉积和光刻。光刻工艺是确保将产生的光刻胶图桉完美复制到纳米级的关键步骤。春分包括一个板载蚀刻工艺，用于蚀刻晶圆中的光刻图样。这台机器还允许微调蚀刻工艺，以达到更高的精度和准确度。此外，该资产被设计为在光刻过程的所有阶段提供高温均匀性。这确保了光刻胶层的均匀沉积，防止蚀刻轮廓出现偏差，并允许每个样品具有完全相同的特性，即使从一个晶片到另一个晶片略有不同。简而言之，SEMITOOL Equinox是一种强大的光刻胶模型，可用于开发高精度的纳米级器件。它包括多个集成的系统，以确保在过程的所有阶段均匀的光刻层、精确和精确的蚀刻以及均匀的高温。设备还提供板载晶圆扫描系统，以实现实时监控。