二手 SEMITOOL Equinox #9408167 待售
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SEMITOOL Equinox是为半导体晶圆加工中的干膜应用而设计的光阻处理设备。它是专为在大批量生产环境中使用而设计的,它提供了一种全自动、自动操作的方法来抵抗晶圆表面的涂层。该系统采用专有的针杯晶片传输装置，配有紫外线光源和将抗蚀剂输送到晶片表面的精密气体输送机。Equinox的销杯工具允许晶片之间更快的吞吐量和一致的涂层质量，以及容易检索涂层晶片。该资产还具有现场清洁能力，以确保清洁处理环境。SEMITOOL Equinox能够以5至12微米的厚度输送抗性材料。晶圆传输速度是可调的，能够处理高达150晶圆每小时。Equinox的UV光源使用了一系列以365纳米波长发射UV光的灯，非常适合光刻工艺。它还有一个可变电源，用于控制光源的强度。此外，SEMITOOL Equinox有一个控制抗蚀剂材料输送的全自动模型，最多有四个不同的压力传感器点，以及一些气体和化学输送方法，如冒泡和溅射。春分利用独特的空气过滤设备来保持机器内一致的空气质量。该系统过滤通过一组过滤垫进入机器的空气，确保清洁的处理环境，污染最小。SEMITOOL Equinox是一种用于光刻和半导体晶圆加工的强大工具，提供了一种高效、自动化的抗涂层方法。它提供了广泛的能力，使其适合大批量生产环境，以及研发实验室。
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