二手 SEMITOOL / M-TECH ST-870 #9265364 待售

SEMITOOL/M-TECH ST-870光刻设备是市场上最先进的旋转涂层之一,具有提供经济高效、高质量结果的能力。M-TECH ST-870的设计旨在确保在涂覆各种基材（包括硅、石英、玻璃和砷化氙）时具有精确、均匀的薄膜厚度。它提供了内置各种自动化的高级控制软件包。该系统允许用户控制电机调整，建立零件重量轮廓，维护关键基板参数。SEMITOOL ST-870的旋转头框架设计由三个主要组成部分组成：不锈钢旋转框架工作、框架装配和可选的"真空框架"。这种设计可以保证基板的牢固附着，确保涂层时的准确性和一致性。不锈钢结构，加上耐腐蚀的材料表面处理，提供额外的耐用性。框架组件在涂层过程中将旋转头固定到位。它还具有可调节角度的自动臂,允许喷洒各种基板角度,而无需改变旋转方向。ST-870具有温度控制的加热热浴，以及强制空气冷却工艺，以提高性能。该单元可用于以高达2000 RPM的速度涂覆单个或多个基板，确保每次均匀、均匀的薄膜。电机扭矩从启动速度可调至高达33 G-cm。电机可调自动复制使用户能够设置连续循环运行的初始周期时间和结束时间。此外，冲洗选项允许用最小的努力重新设计受污染的基板。SEMITOOL/M-TECH ST-870具有催化剂涂层、分子层沉积（MLD）和对苯二甲酸CSD™等多种特定的应用工艺,具有优异的光敏器件保护性能。它还有一个具有多个可调参数的诊断机，用于优化性能和减少周期时间。该工具包括一个资产控制板，可以连接到中央数据管理模型，从而更轻松、更高效地控制流程。M-TECH ST-870配备了集成操作和过程管理监控及文档控制套件,以提高设备可靠性。综上所述，SEMITOOL ST-870光致抗蚀剂设备是当今市场上最先进的旋转涂层之一，提供了一种高性能的解决方桉，可以在涂覆各种基板的同时保持均匀的薄膜厚度。它具有卓越的可靠性,具有温度控制浴池和强制空气冷却工艺,可提高性能。ST-870是高度可定制的,有许多特定于应用程序的过程和可调整的参数来优化性能。它还配备了综合业务和流程管理监测软件，以改进数据管理。