二手 SEMITOOL Millennium #9207932 待售

SEMITOOL Millennium是为满足半导体工业的高精度需求而设计的光阻设备。它能够在半导体上产生非常薄且高度均匀的蚀刻图样，用于各种用途，从制造深沉的氛围到形成极细的线条和其他形状。该系统采用化学抑制工艺，以确保即使在不同的底物和工艺条件下，也能确保少量缺陷和高一致性的蚀刻图桉。该设备用途广泛，可针对各种基材和光刻胶进行调整，以最好地满足客户的需求。千年对光刻蚀刻工艺采用三阶段方法。第一阶段由光刻涂层工艺组成，在基板表面形成一层薄而均匀的抗蚀层。其次,使用剖面图确定所需的蚀刻深度。然后将这些信息输入到第三阶段：一个专门的计算机控制的蚀刻机，它进行实际的光刻图样。这三个阶段的设计都是为了提供最高分辨率、最均匀的蚀刻图桉。SEMITOOL Millennium工具还配备了一系列工具，以确保蚀刻过程的准确性和统一性。这些工具包括自动特征识别（AFR）资产,可确保在每个步骤中优化过程。此模型节省了时间,消除了蚀刻过程与所需模式之间的差异。此外,设备还具有高分辨率（HR）工具,可以对蚀刻深度进行高度精确的测量。这在需要达到50微米的蚀刻深度的情况下特别有用。最后，系统还有一个故障检测单元，它可以检测潜在的错误，例如光刻胶加载不当，可能导致蚀刻故障。最后，Millennium是一种先进的光致抗蚀剂机器，旨在满足半导体工业的迫切需求。它利用化学抑制的蚀刻工艺在不同的基材和工艺条件下进行均匀且无缺陷的蚀刻，并利用工具确保最高精度和均匀性。此外,它用途广泛,可以根据客户的需要进行定制。