二手 SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400645 待售

SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCU是专为先进半导体制造而设计的光刻设备。该系统将光源、工艺室和温度控制系统结合在一个单一的解决方桉中。它还具有一个发光阵列（LEA）在处理室内，允许在宽基板改善光覆盖。光源基于直接耦合发光二极管（LED）阵列,该阵列可产生高强度、窄光谱、紫外线照射（从250到405 nm）,同时保持温度曲线低至149 °C。这确保了材料的均匀化和均匀化处理。此外，光斑尺寸可以调整，以适应不同尺寸的基板。工艺室密封加压，采用集成换热器，保持基板温度均匀。这个腔室还配备了真空元件，允许利用惰性气体创造无大气的加工环境。温度控制单元由三个独立的温度控制元件组成：陶瓷加热器、电加热板和热板。陶瓷加热器保持基板的所需温度，而采用EHP和热板来控制加工室的温度轮廓。OEM SAT 2081D2PCCU光刻机为超快处理而设计，最大循环时间为两秒。它还具有抗反射技术和先进的基板处理功能,非常适合创建复杂的设备。该工具灵活的电源设置和安全的提前光屏蔽提供了基板的均匀曝光，减少了由于边缘效应造成的错误处理。此外，该资产还具有卓越的可重复性和整体性能，即使在最严格的工业条件下也具有很高的可靠性。总体而言，SEMITOOL SAT 2081D2PCCU是一种精心设计的光电抗蚀剂模型，专为快速精确的半导体制造而设计。它提供可靠的性能,同时有效地管理处理环境中的温度变化。它能够处理各种基板，使其成为先进半导体器件生产的理想选择。