二手 SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400646 待售

SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCU是设计用于各种半导体制造工艺的光刻设备。该系统由高精度、高真空薄膜沉积源、反应管和高真空工艺室组成。薄膜沉积源是一种6轴快速脉冲直流电子枪，设计用于将各种金属和绝缘体如氮化钛直接沉积到晶片表面上。它还能够将其他材料，如二氧化硅沉积到基材中。反应管是一种以高流量循环光敏溶液的旋转型装置。此过程用于将基板的特定部分转换为光刻胶掩模。该工艺室是一个大的不锈钢真空室，容纳薄膜沉淀源和反应管。它能够维持10-7至10-8 Torr范围内的真空水平。除硬件组件外，该单元还包括一个专有软件包，使用户能够创建针对特定沉积和光刻过程量身定制的配方。配方允许精确控制机器参数，如沉积材料的厚度、光刻胶流经反应管的速率、薄膜沉积源定位的角度以及工艺室内的真空压力。该工具设计用于批量加工，适用于各种尺寸的半导体制造商。它提供高吞吐量、出色的过程控制以及显着的成本和时间节约。此外，资产非常可靠，平均失败率介于99.9%以上。这确保了每个过程的安全性和效率,并消除了频繁维护的需要。OEM SAT 2081D2PCCU是一种可靠、经济高效的光刻胶模型,非常适合各种半导体制造工艺。它的多种特性和功能使其成为希望简化其光刻工艺的客户的首要选择。