二手 SEMITOOL Paragon LT-210 #9115016 待售

SEMITOOL Paragon LT-210是为大体积晶圆加工而设计的一种顶级光刻加工设备。该系统旨在提供从自旋涂层到阻抗去除的所有晶片工艺的卓越均匀性和控制性。典范LT-210装置包括一个多区气体输送机，它为所有工艺区提供单独的气体控制，使温度、压力和气体流动得到快速和精确的控制。集成的UV LED照明工具允许在整个工艺室内均匀分布UV照明,以便在光刻等工艺中实现最大的均匀性和可重复性。该资产还配备了先进的六轴机械臂和集成的牙科机器人,可精确执行关键的流程步骤。牙科机器人是一个创新的特点，允许精确，精确对准光刻面罩和抵抗。此外,机械臂还可确保关键过程步骤的精确和可重复执行。SEMITOOL Paragon LT-210建立在一个高度可靠的精密晶圆传输模型的基础上，该模型结合了设备的最大正常运行时间和可靠性。该系统还采用了SEMITOOL专利的ShuttleFlo涡轮真空泵机，它提供了蒸气从加工室的快速排空，用于快速晶圆翻转。此外，Paragon LT-210机还包括一个集成的数据记录和分析工具，可以安全、高效地记录过程参数和对晶圆过程结果的详细分析。这样可以精确控制晶片表面电阻率和其他关键工艺参数，产生更好的晶片产量和改进的工艺控制。总体而言，SEMITOOL Paragon LT-210是一种全面的光阻处理资产，旨在为大体积晶圆工艺应用提供最大的控制、可靠性和工艺精度。该模型建立在高度可靠的硬件组件和集成的分析包的基础上,用于详细的过程分析。该设备针对最高产量和可重复性进行了优化，使其成为行业晶圆加工需求的绝佳选择。