二手 SEMITOOL Paragon #293636054 待售
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SEMITOOL Paragon是一款专为半导体工业晶圆加工而设计的光阻设备。该系统是围绕一种专利光刻工艺而建立的，这种工艺允许基板使用光敏聚合物（光致抗蚀剂）进行图样化，以便随后可以使用蚀刻和其他制造工艺来创建所需的装置结构。典范光致抗蚀剂单元由四个主要成分组成.这些包括光刻处理器、抗蚀剂喷雾器、显影浴和自旋干浴。光刻处理器是机器中最重要的部件，它利用投影的图样光将光刻胶暴露在基板上。抗蚀剂喷雾器用于在基板上涂抹均匀的光致抗蚀剂层，然后再将其暴露在图桉化的光照下。然后使用显影浴进一步加工光刻胶。这样做是为了方便蚀刻过程。最后，自旋干浴用于去除基板上残留的任何光致抗蚀剂，并确保基板完全清洁。SEMITOOL Paragon光刻工具具有许多优点.它易于维护和操作，占地面积小，快速、可靠且可重复。此外，该资产能够处理各种各样的光刻胶和基材，使其成为需要更高精度和精确度的应用的理想选择。总体而言,Paragon光刻胶模型是半导体工业的宝贵工具.它结合了高性能和可靠性，保证了它非常适合小型电子设备的精密制造。
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