二手 SEMITOOL PDC621-P / FSS-221 #168414 待售

SEMITOOL PDC621-P/ FSS-221光刻设备是微电子和半导体生产工艺的绝佳工具。它是生产先进微电子器件的优化平台，需要极其可靠、精确的光刻设备。该系统提供了可靠的湿工艺解决方桉,能够产生超精细的特征大小和高通量。PDC621-P/ FSS-221提供硬件组件、软件工具和工艺配方的组合,以支持各种基材和各种应用。它配备了先进的自动化控制和独特的倒置齿轮升降机设计，具有较大的工作区，提供了更高的吞吐量，减少了粒子产生，提高了工艺精度，以及出色的均匀性。该单元的硬件部件包括一个SEMITOOL PDC621-P/ FSS-221抗性处理室、PADC621-P/FSS-221往复晶片级和Pomsong M系列光源。工艺配方是根据用户的规格和工艺要求量身定制的，为基材、光刻作业和应用类型提供了广泛的选择。软件工具提供集成的流程控制和数据记录功能,以确保流程的一致性、可靠性和可预测性。PDC621-P/ FSS-221机器能够支撑各种底物，从玻璃和石英到硅、砷和氮化氙。它还可以容纳各种化学物质，包括耐酸、耐溶剂和耐热的抗性制剂。该工具能够处理各种具有不同属性和厚度的光刻胶层,使客户能够根据特定的层属性和所需的设备性能定制其生产过程。此通用资产非常适合MEMS、数据存储、消费电子产品和高端设备应用。它通过精确控制工艺参数和提高光刻作业的精度，使客户能够获得高产率。此外,该模型还能够产生极其精细的特征尺寸。SEMITOOL PDC621-P/ FSS-221是生产高性能微电子器件的绝佳工具。其先进的设计和直观的软件工具使其成为可靠的光刻设备，具有出色的工艺精度和均匀性。它使客户能够在不牺牲性能的前提下享受最佳的微电子生产解决方桉。