二手 SEMITOOL PSC-101 #137503 待售

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment是一种用于复杂微电子制造过程的强大而可靠的自动化处理系统。它为创建高级电子元件和设备提供了高度的灵活性和成本效益。SEMITOOL PSC 101具有双腔室单元，旨在与抗显影、涂层、纺纱、烘烤等工艺配合使用。加热的烤盘的温度范围可达200 °C,平均速率可达5 °C/min,而可编程计时器的时间范围可达180秒。该机还允许使用可拆卸的洗涤篮、防止过度搅拌的内置传感器、小容量清洁剂输送工具和排水槽方便清洗和维护。PSC-101使用直观的触摸屏界面使图形驱动的编程变得简单明了。此功能允许用户快速设置涂层参数并建立所需的层厚度轮廓。也可用于记录和存储预先编程的处理配方，用于重复方法。PSC 101可实现快速高效的光刻涂层和开发,每个腔室有两个独立的源,包括中速和高速旋转过程,以实现更快的输送。易用的前盖在更换晶片时提供了方便。SEMITOOL PSC-101还提供专门为掩模对准和光刻精度而设计的高级功能。获得专利的MaskMaster光学对准资产可实现亚微米、即时对准,从而更快、更精确地对准晶片。左右打印头可提供快速对准时间和改进的可重复性,而双乳剂旋转模型允许在一个晶片上同时旋转。综上所述,SEMITOOL PSC 101是一款先进、可靠且经济实惠的设备,它提供了广泛的特性和功能,以满足苛刻的工业应用的需求。它是一个强大的自动化系统，旨在提高生产率，减少成功执行光刻涂层和开发等过程所需的时间。