二手 SEMITOOL PSC-101 #293600518 待售

SEMITOOL PSC-101是由SEMITOOL, Inc.开发的光刻设备。该系统旨在使制造商能够快速、准确地以高精度和质量制造产品。该装置的主要部件包括：洁净室控制的工艺室、自动基板转移机器人和喷雾机器人。该工艺室的设计目的是为光致抗蚀剂加工提供一个清洁和无菌的环境，并具有集成的自动配对工艺，从而能够快速和可靠地开发基板。自动基板传输机器人以安全和受控的方式将晶片从输入传输到输出。最后，喷雾机器人配备了高精度的喷嘴机，确保光刻胶在基板上的均匀应用。该工具可以处理各种各样的基材，包括硅片、玻璃、石英和聚酰亚胺。它还提供了几种不同的涂层，如聚酰亚胺对苯二酚、聚酰亚胺氟醇、聚酰亚胺聚酰胺、聚酰亚胺SiLK、聚酰亚胺BN和聚酰亚胺丙烯酸。资产可使用多种光刻胶，包括DryFilm Autoloader、Resist Type III （Type TX-1）、DryFilm AP300和Resistist Exposure Kit。此外，该模型可与多种激光器配合使用，用于光敏超敏反应。SEMITOOL PSC 101的製程室设有几个功能，以提高精度。其中包括：快速热处理设备、温度控制室、双基板加热器、均匀控制系统和工艺监测器。快速热处理单元可以创造最小循环次数的高质量喷雾，减少循环时间，提高效率。温度控制的腔室使使用者能够在摄氏0-500度控制腔室的温度，允许精确且可重複的结果。双基板加热器在加工过程中将基板保持在相同温度，而均匀性控制机则确保均匀曝光。最后,流程监视器允许用户监控光刻胶曝光过程,使制造商能够快速诊断和解决任何潜在问题。PSC-101是希望提高精度和缩短循环时间的光刻胶制造商的理想工具。该工具具有自动化过程、洁净室控制过程和各种兼容光刻胶,是一种可靠、高效的工具,可提高质量并降低成本。