二手 SEMITOOL PSC-101 #293639634 待售

SEMITOOL PSC-101光刻设备是一种综合性的、综合性的光刻系统，专门为电子和微电子领域的微小、高分辨率组件的精确生产而设计。SEMITOOL PSC 101利用自动化控制和监测系统，以及先进的光学、精密激光温度控制和环境管理系统。该单元由三个主要组成部分组成。它们是：一种光刻胶旋转机，用于涂抹和去除光刻胶；一种高分辨率的曝光工具，用于精确地曝光光抗蚀剂基板；以及用于清洁、开发和蚀刻部件的湿加工站。光致抗蚀剂自旋资产包括一个集成控制器、自旋电机、自旋卡盘和真空泵-所有这些都是为了支持光致抗蚀剂在极其精确的体积中的精确应用而设计的。曝光模型采用激光控制和聚焦设备，可以精确控制曝光源的距离和角度。这样可以确保高强度曝光,并产生极高的分辨率,从而使即使是最小的特征也能以最精确的方式进行蚀刻和开发。最后,湿式加工站允许控制部件的蚀刻和清洗,并对温度、压力和其他参数等变量进行自动化过程控制。PSC-101为各种光刻胶加工需求提供了全面的解决方桉,包括生产极小的几何形状、高分辨率元件和其他精细元件。其先进的系统设计确保了高水平的可靠性、准确性和可重复性,使其成为满足任何精确处理需求的理想选择。