二手 SEMITOOL PSC-101 #293725377 待售
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SEMITOOL PSC-101光刻设备是为光刻应用而设计的精密涂层工具。该系统提供了广泛的特性和功能，使用户能够准确、一致地将光敏抗蚀剂涂在半导体晶片上。该单元的主要部件是机身、电源模块、工艺控制器、喷嘴和遮罩板。机体包括驱动马达和传动、支撑钉工具和进压机构。电源模块控制驱动器的速度和电源要求，并处理电气连接器的电源。过程控制器控制着从电源设置到烹饪设置的所有内容，包括光刻胶的分布以及烹饪和冷却参数。然后喷嘴将光刻胶分布在晶圆的表面上。最后，利用遮罩板确保光刻胶层与基板的精确对准。光致抗蚀剂可以通过两种方式进行，第一种是使用旋转晶片级，第二种是使用掩模板。旋转晶片级利用真空卡盘将晶片固定到位，转盘旋转晶片。这让使用者可以旋转晶片，使他们能够准确而均匀地将光刻胶涂覆到表面。掩模板技术用于在晶片的每一侧创建均匀涂层,同时避免层之间的任何重迭。SEMITOOL PSC 101光刻资产控制器具有多种特性和设置。它可以被编程为精确控制光刻胶的应用，包括过程时间、电流、温度和压力。控制器还有一个易于读取的界面，用户可以一目了然地调整和跟踪设置。此外,模型还提供了自动补偿功能,可根据温度、湿度或压力的任何变化自动更改参数。PSC-101光刻设备是一种方便、高效、准确的光刻工艺工具。它设计方便用户,提供了广泛的功能和设置,并且能够快速准确地将光刻胶涂覆到半导体晶圆上,从而节省了时间和金钱。
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