二手 SEMITOOL PSC-101 #293746635 待售
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SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment是一种化学湿式工作台,设计用于处理、开发和剥离半导体器件的光刻胶和光刻胶溶液。SEMITOOL PSC 101的特点是具有单罐浸入能力和化学输送系统，设计具有高精度和低容积分配能力。它配备了两个免维护和温控加热器，提供最佳蚀刻、抗剥离和化学溶液-薄膜-性能管理，同时超越了多个IC处理协议的要求。所有过程都是用户可编程的，从而能够控制所有相关变量，如压力、温度、流速和整个过程持续时间。PSC-101还设有一个带有酸和DI罐支撑的双排水装置，以及一个金属（磁）颗粒过滤机，用于自动清除金属氧化物颗粒和其他污染物，减少废物和处理成本。PSC 101能够处理直径不超过8英寸的基板,是一种紧凑、灵活的机器,可轻松集成到现有的光掩模、晶圆和掩模制造系统中。SEMITOOL PSC-101具有高度的可编程性,并提供了可升级性,允许用户根据其应用程序的确切要求定制该工具。SEMITOOL PSC 101配备了几个传感器，以持续监控资产的完整性，并确保光刻胶的一致处理。该型号还配备了强大的四通道遥控接口，用于连接外部过程控制系统。采用水性喷雾冲洗喷嘴结构，液位指示器和复合晶片指示器，PSC-101能够采用多种加工工艺。此外，该设备还设计了内置安全系统，以保护使用者和敏感化学品。PSC 101提供了一种灵活高效的光刻胶合成和处理解决方桉，可以很容易地适应先进半导体应用的需求，如预光子叶片制造、集成光子器件制造或微加工。其高分辨率的加工室、精确的化学剂量单元以及与多个外部过程控制系统的兼容性，使其成为理想的选择。
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