二手 SEMITOOL PSC-101 #293814168 待售

SEMITOOL PSC-101光刻胶设备是一种可靠、快速、高效的光刻胶处理和开发系统。该装置用于各种光刻胶应用，包括旋转涂层、喷涂涂层、显影、烘烤、篡改和蚀刻。SEMITOOL PSC 101的核心是它的控制器，它对机器的过程参数提供精确、实时的控制。这确保了在整个光刻过程中的端到端可重复性,从而使用户能够获得始终如一的高质量结果。PSC-101利用多种配电装置、加热扩压器和介电电机实现了高度的均匀性和准确性。刀具的容量和柔韧性允许各种光刻涂层参数，如图桉宽度、厚度和运动速度。资产还具有集成的微处理器,可主动监控整个过程中的所有参数。这保证了涂层和显影序列是一致的和可重复的，并且光致抗蚀剂保持在其最佳水平。PSC 101中使用的介电马达也保证了自旋板的精确定位。该模型还提供了内置的安全规程，例如电离套件，以保护工作人员在这一过程中不受危险化学品的影响。SEMITOOL PSC-101还允许干吊坠或湿线工艺,具体取决于用户的需求。此外，SEMITOOL PSC 101设计用于低压环境，以防止任何种类的污染。高容量的化学储罐、排水槽、储罐也包括在设备中，允许高效的液体管理。还提供各种配件，以完成光刻过程，如舞台面具和浸泡浴池。PSC-101光致抗蚀剂系统是一个可靠和高效的单元，设计用于中型到大型光致抗蚀剂的应用。它具有精确和可重复的光刻胶分配和交付，以及集成的安全特性和过程监测协议。舞台面具、浸水浴等配件也可与机器一起使用，以确保高效专业的效果。