二手 SEMITOOL PSC-101 #9060137 待售

SEMITOOL PSC-101光电抗蚀剂设备旨在为自动剥离后接触抗蚀剂工艺提供优化的性能。SEMITOOL PSC 101具有可配置的集成化学输送系统（CDS）,旨在与包括酸或碱性溶液在内的几乎所有有机和水基化学体系兼容。该装置能够精确控制接触和剥离后抗蚀剂的工艺参数。CDS以车载化学品供应和自动补充的形式提供精确、可重复和可靠的化学品输送。机器的化学输送工具包括多个储层，每个储层都有自己的独立计量资产，可以单独激活，以准确输送每种化学物质。此外,CDS还包括用于创建精确流程定时序列的数字控制器,以及用于存储多达99种不同配方的综合流程参数存储列表。PSC-101在抗蚀剂的应用方面具有灵活性。它具有多种基板安装选项,包括但不限于旋转涂层、喷涂和浸涂。此外，该模型能够利用广泛的淋浴头或喷枪来增加吞吐量。设备还包括一个温度控制的冲洗室，允许使用者利用需要温度控制的冲洗和后剥离的过程。温度控制的冲洗室为用户提供了受控的介电层，允许高质量和受控的后剥离过程。PSC 101还用作增强过程的平台，如钝化层的自动应用。已知自动钝化层可产生更高的产量，并有助于降低因污染而产生的故障率。该工艺利用自动电介质涂层分配头来计量和精确控制多层钝化。此外,SEMITOOL PSC-101设计方便维护和服务.借助易于访问的最终用户可维修模块,用户可以快速诊断流程问题,并将设备恢复到最佳性能。SEMITOOL PSC 101光抗蚀剂系统为剥离后的接触抗蚀剂和其他特种工艺提供可控、可重复的工艺。它的CDS允许精确控制化学释放和工艺参数，而它的多个安装选项和峰值性能温度控制的冲洗室允许用户充分利用需要温度控制的冲洗过程。此外，该股还为用户提供改进质量和降低故障率的流程，并允许通过最终用户可使用的模块方便地进行服务和维护访问。