二手 SEMITOOL PSC-101 #9160266 待售

SEMITOOL PSC-101是为半导体制造应用而设计的光刻设备。它是用于在晶圆上制造集成电路的多步工艺的一部分。光致抗蚀剂系统是光刻过程中的一个关键元素，它是利用光刻技术对晶片的顶层进行制图的。SEMITOOL PSC 101单元是光刻胶模块和自旋涂层的独特组合，旨在为整个晶圆提供一致的高品质涂层。它具有一个优化的光刻胶分配头，旨在提供精确的，可重复的体积一致的光刻胶覆盖。它还具有先进的旋转涂层头，以确保光刻胶在晶片表面上的均匀分布。PSC-101使用自旋涂层将光刻胶铺在晶圆表面上。分配头以手动或自动模式精确地将光刻胶施加在晶片上。在涂上光致抗蚀剂后，将晶片纺入自旋涂层，以确保均匀分布。然后，在热板上演。该机具有专门设计的热板，为晶圆烧结提供均匀的低膨胀。大型腔室和热传感器的设计提供精确的热读数。该热板还设计用于快速的热斜坡和精确的温度控制，以获得最佳的热性能。PSC 101具有多项为安全和可靠性而设计的功能。其安全联锁确保不执行危险程序。其耐腐蚀和耐粉尘，便于维护。它也有很长的寿命，以1年保修为后盾。SEMITOOL PSC-101是一种高效、可靠、经济高效的半导体制造光刻工具。其精密的分配和旋转涂层技术提供一致的结果，较少的缺陷和返工。其坚固的设计和可靠的结构使其成为大批量生产和苛刻工艺的理想选择。使用SEMITOOL PSC 101,客户可以期待可靠的质量和高效的性能来获得最佳的产量。