二手 SEMITOOL PSC-101 #9173289 待售

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment是一种自动化的、功能齐全的湿处理系统,专为光刻胶操作而设计。它是一个模块化的单元，具有多种功能。它由一个主体组成，里面装有不同的设备部件，还有自动装载机，用来将基板装入机器。光致抗蚀剂工具由开发和沉积光致抗蚀剂材料的几个不同过程组成，包括预处理、抗蚀涂层、曝光后烘烤、显影和带状/冲洗过程。各个组件旨在为每个步骤提供最佳性能。预处理工艺包括PECVD，其中底物被氧化，而抗蚀剂涂层工艺设计为均匀地在底物上涂抹光致抗蚀剂。曝光后烘烤工艺旨在硬化光刻胶并使溶剂蒸发，而开发工艺则采用热喷雾或无电极方法去除非曝光光刻胶。然后,带状/冲洗工艺会从晶片中除去剩余的光致抗蚀剂。光刻资产使用SEMITOOL打印模型接口（PSI）软件控制。设备的操作通过PSI软件实现完全自动化,从而在所有流程中实现精确、统一和可重复性。除了具有自动加载功能外，系统还可以通过基板加载、手动抵抗调节等多种手动过程进行设置。光刻装置的设计易于操作、维护和升级。连接功能和远程I/O功能允许远程操作、实时监视和机器诊断。该机器还设计用于最小停机时间,有几种用于预防性维护的选项,包括在mag轨迹超出公差的情况下自动关闭抵抗剂熄灭。总体而言,SEMITOOL PSC 101光阻工具是一种高效、自动化的湿处理资产,旨在为高质量的光阻工艺提供精确、可重复性和最小的停机时间。它具有连接、远程I/O功能和预防性维护选项等功能,使其成为半导体设备制造、研究和其他光刻胶操作的理想选择。